大大节省光刻胶
使用高力矩步进电机作为驱动装置,确保吐出量的稳定性。即使使用过滤器过滤堵塞物或液体粘度出现变化时,亦确保畅通无阻。吐出重复精度(高达0.3%)能保持不变。
无污染
采用管型膜片结构,内部过流部分是平整、光滑,残留体积极小。因为整个系统几乎没有一个地方,可让液体依附,有效避免颗粒产生。
适用于各种涂层工艺
因吐出速度可自由改变,该系统能够处理各种光刻胶涂层工艺,包括极小吐出量或极短时间周期等不同的应用。
减少生产线停机时间
吐出量和吐出时间可以轻松在控制器设定,大大减低操作时间、人手和生产线停机时间。