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PDS-H115
可输送高粘度光刻胶,适用于LED和MEMS工艺

大大节省光刻胶
使用高力矩步进电机作为驱动装置,确保吐出量的稳定性。即使使用过滤器过滤堵塞物或液体粘度出现变化时,亦确保畅通无阻。吐出重复精度(高达0.3%)能保持不变。

无污染
采用管型膜片结构,内部过流部分是平整、光滑,残留体积极小。因为整个系统几乎没有一个地方,可让液体依附,有效避免颗粒产生。

适用于各种涂层工艺
因吐出速度可自由改变,该系统能够处理各种光刻胶涂层工艺,包括极小吐出量或极短时间周期等不同的应用。


减少生产线停机时间
吐出量和吐出时间可以轻松在控制器设定,大大减低操作时间、人手和生产线停机时间。

规格

型号

PDS-H115

最大吐出量

12 mL/shot

最大吐出压力

1.0 MPa

吐出速度

0.5 ~ 2.0 mL/sec

吸入速度

0.3 ~ 2.0 mL/sec

最高液体粘度范围 10,000 mPa·S

 

流量(L/min)
最大揚程(m)
最大吐出壓力(MPa)
介質最低溫度(°C)
介質最大溫度(°C)
水處理功能
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