低脉动
独特的系统驱动机制,确保气囊最佳运动效果,将脉动减到最低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下,减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
最佳的气囊运动,有效提高压力的承受能力,以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力,尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器,节省设备空间及安装费用,例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
规格
|
FLP-60W |
FLP-75W |
||||
最大吐出量 |
50 |
92 |
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最大脉动范围 |
0.06 MPa |
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液体温度范围 |
5-100°C |
101-150°C |
150-180°C |
5-100°C |
101-150° |
150-180°C |
最大液体粘度 |
50 mPa・s |
|||||
吸程 |
1 m |
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环境温度/湿度 |
0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) |
0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) |
||||
储存温度/湿度 |
-10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) |
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重量 |
22 kg |
42 kg |
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FLP-60W |
FLP-75W |
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最大吐出量 |
50 |
92 |
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最大脉动范围 |
0.06 MPa |
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液体温度范围 (最大空气供应) |
5-100°C (0.5MPa) |
101-150°C (0.4MPa) |
150-180°C (0.3 MPa) |
5-100°C (0.5MPa) |
101-150°C (0.4MPa) |
150-180°C (0.3 MPa) |
最大液体粘度 |
50 mPa・s |
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吸程 |
1 m |
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环境温度/湿度 |
0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) |
0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) |
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储存温度/湿度 |
-10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) |
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重量 |
22 kg |
42 kg |